真空泵運行3-6年或10000工作小時后，機械部分會產生一定的磨損，疲勞、老化等導致性能有所下降，或者隱藏的應用不當等或者造成一定的故障。需要制定大修計劃或針對性的故障排除和優化改進。
       如果不及時維修，可能會導致性能惡化，造成不可逆的損壞，導致不必要的經濟損失。