真空區域 | 粗真空 | 低真空 | 中真空 | 高真空 | 超高真空 |
壓力范圍 | 105-103 | 103-101 | 101-10-2 | 10-2-10-6 | 10-6-10-10 |
主要特性 | 壓力差 |
氧氣和水含量 顯著減少 |
物質沸點降低 氧含量進一步減少 |
氣體分子平均自由程增大 | 形成單分子層時間增大 |
主要應用 |
真空輸送 真空夾具 |
真空包裝 真空干燥 |
真空冷凍干燥 真空蒸餾 真空熱處理 |
半導體 電子工程 質譜儀 |
表面科學 空間模擬 |
獲得設備 |
液環真空泵 單級旋片真空泵 |
單級旋片真空泵 |
雙級旋片真空 羅茨真空泵 |
擴散泵 分子泵 |
離子泵 鈦升華泵 低溫泵 |
測量方法 | 指針式真空壓力表(布爾頓真空計) |
電阻真空計 布爾頓真空計 薄膜真空計 |
電阻真空計 薄膜真空計 |
壓縮式真空計 電離真空計 |
電離真空計 |
檢漏方法 | 測試介質 | Min可檢漏率 | 壓力范圍 | 量化數值 | |
Pa.L/S | R134a g/a | ||||
泡沫(皂泡法) | 空氣 | 10-2 | 7.10-1 | 正壓 | 無 |
超聲聽筒 | 空氣 | 100 | 70 | 正壓 | 無 |
鹵素檢漏儀 | 鹵素氣體 | 10-3 | 10-1 | 正壓或真空 | |
氦氣檢漏儀 | 氦氣 | 10-10 | 7.10-7 | 真空 | 有 |
10-5 | 7.10-2 | 正壓 | 有 | ||
氣泡法 | 空氣 | 10-1 | 7 | 正壓 | 無 |
水壓測試 | 水 | 100 | 70 | 正壓 | 無 |
靜態壓降法 | 空氣 | 10-2 | 7.10-1 | 正壓 | 有 |
靜態升壓法 | 空氣 | 10-2 | 7.10-1 | 真空 | 有 |